ダイヤモンドライクカーボン（DLC）PVDコーティング

ダイヤモンドライクカーボン（DLC）コーティングは、Richter Precision Inc.の特に得意とする分野です。 PVD & PaCVDコーティングの組成と技術の中で、DLCコーティングは際立ったカテゴリーとして際立っています。 DLC コーティングは、イオン化して分解された炭素や炭化水素が、通常 10 ～ 300eV のエネルギーで基材の表面に降り注ぐことで形成されます。 DLC膜は、優れた機械的特性（高硬度）、光学特性（高光学バンドギャップ）、電気特性（高電気抵抗）、化学特性（不活性）、摩擦係数（低摩擦・摩耗係数）を持ち、低い基板温度（～200℃）で成膜することが可能である。 膜特性の制御は、選択した成膜技術（PVDスパッタまたは蒸着、Pa-CVD）のフラックス特性、膜内の金属および水素含有量、sp2：sp3比、基板バイアス電圧、イオンエネルギー、イオン密度、基板温度に強く依存する。 DLC膜の対鋼材摩擦係数は一般に0.05～0.20であり、膜硬度やsp3含有量は用途に応じて調整することが可能である。 金属と水素を含むDLC (Me-DLC または a-C:H:Me) は、硬度500～2000HV、sp3 35% を示し、金属を含まないDLC (C-DLC または a-C:H) は通常1500～4000HV、最大75% sp3、一方四面体アモルファスカーボン (ta-C) は、4000～9000HV、80～85% sp3 を示す場合があります。 工具やアプリケーションの特性によって、どのDLCコーティング構造が最も適しているかが決定されます。 弊社で利用可能なDLCコーティング組成の完全なリストについては、以下の表を参照してください。